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高纯氩气是主要的工业原料,也是重要的工业气体和特种气体,高纯氩气的作用很多,下面小编来给大家介绍高纯氩气的作用。
1:高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;
2:用过系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体。
3:化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用
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如何从空气中提取高纯氩气?
从空气中提取高纯氩气主要采用低温精馏法。
先将空气进行压缩、冷却,使其液化。然后,利用空气中各成分沸点的差异进行精馏分离。氩气的沸点介于氧气和氮气之间,在精馏塔中,通过准确控制温度和压力,使液态空气逐步分离。经过多次的蒸发和冷凝过程,氩气被逐渐富集。
之后,再经过进一步的精细精馏和净化处理,去除其中残留的少量氧气、氮气和其他杂质,如采用吸附剂吸附剩余杂质,得到纯度较高的氩气,以满足高科技领域等对高纯氩气的需求。
【郑州瑞安气体科技有限公司】继续坚持高标准、高质量的理念,为大家提供的高纯氩气有非常好的使用效果,如果大家有需要,就联系我们进行咨询吧。
高纯氩气在半导体行业的应用
半导体行业对高纯氩气依赖程度极高。在半导体芯片制造过程中,许多环节都需要在高纯氩气环境下进行。例如,在化学气相沉积工艺里,氩气作为载气,携带反应气体准确到达硅片表面,保障沉积过程的正确性与稳定性。
离子注入工序中,氩气用于形成离子束,对硅片进行掺杂,准确控制半导体材料的电学性能。在晶体生长时,氩气营造惰性氛围,防止硅晶体被氧化,确保晶体质量。高纯氩气为半导体制造提供了洁净、稳定的环境,有力推动了芯片制造技术的进步,保障了半导体产品的性能高与高可靠性。
【郑州瑞安气体科技有限公司】主导产品为高纯氩气、高纯氮气、高纯氢气、高纯氧气、高纯空气、高纯二氧化碳等,如果大家有需要的话,就联系我们进行咨询吧。
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