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高纯氩气在哪些高科技领域有重要应用?
高纯氩气在诸多高科技领域发挥关键作用。
在半导体制造中,它是一种重要的保护气体。在芯片制造的光刻、刻蚀等工艺过程中,高纯氩气能防止芯片材料与氧气等发生反应,确保高精度加工。例如,在12英寸晶圆的制造过程中,氩气可提供稳定的加工环境。
在光纤制造领域,高纯氩气用于光纤拉丝过程。通过营造无氧环境,避免光纤材料氧化,提高光纤的质量和性能,保障光信号的快速传输。同时,在一些材料的真空镀膜工艺中,高纯氩气作为载气,帮助材料均匀地沉积在基底上,用于制造性能好的光学薄膜等。
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高纯氩气是主要的工业原料,也是重要的工业气体和特种气体,高纯氩气的作用很多,下面小编来给大家介绍高纯氩气的作用。
1:高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;
2:用过系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体。
3:化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用
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在使用高纯氩气时,如何防止其与其他气体混合,以确保其纯度?
在使用高纯氩气时,确保其纯度需要注意以下几点。
一是气体输送系统方面,要使用专门的、密封性良好的管道,如不锈钢管道,并且管道在安装前要进行严格的清洁和吹扫,去除可能残留的杂质和其他气体。管道接口处采用高质量的密封材料和连接方式,如焊接或高质量的密封垫片连接,防止气体泄漏和外界气体进入。
二是在使用设备端,要保证设备的气体入口有良好的单向阀和过滤装置。单向阀可以阻止其他气体倒流进入氩气系统,过滤装置能够进一步过滤可能混入的杂质颗粒和其他气体分子。同时,在使用前对整个系统进行抽真空处理,也有助于保持氩气的纯度。
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