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如何从空气中提取高纯氩气？

从空气中提取高纯氩气主要采用低温精馏法。

先将空气进行压缩、冷却，使其液化。然后，利用空气中各成分沸点的差异进行精馏分离。氩气的沸点介于氧气和氮气之间，在精馏塔中，通过准确控制温度和压力，使液态空气逐步分离。经过多次的蒸发和冷凝过程，氩气被逐渐富集。

之后，再经过进一步的精细精馏和净化处理，去除其中残留的少量氧气、氮气和其他杂质，如采用吸附剂吸附剩余杂质，得到纯度较高的氩气，以满足高科技领域等对高纯氩气的需求。

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高纯氩气储存时有何安全规范？

高纯氩气储存时，应置于通风良好、阴凉干燥的库房内，远离热源和火源，库房温度不宜超过 30℃。氩气钢瓶要直立存放，妥善固定，防止倾倒。应与易然、易暴、氧化性物质分开存放，避免混储。

定期检查钢瓶及阀门是否有泄漏，可使用专门的气体泄漏检测仪器进行检测。高纯氩气储存场所要配备相应的消防器材和泄漏应急处理设备，同时设置明显的安全警示标志，禁止无关人员进入。

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高纯氩气在半导体行业的应用

半导体行业对高纯氩气依赖程度极高。在半导体芯片制造过程中，许多环节都需要在高纯氩气环境下进行。例如，在化学气相沉积工艺里，氩气作为载气，携带反应气体准确到达硅片表面，保障沉积过程的正确性与稳定性。

离子注入工序中，氩气用于形成离子束，对硅片进行掺杂，准确控制半导体材料的电学性能。在晶体生长时，氩气营造惰性氛围，防止硅晶体被氧化，确保晶体质量。高纯氩气为半导体制造提供了洁净、稳定的环境，有力推动了芯片制造技术的进步，保障了半导体产品的性能高与高可靠性。

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