郑东新区高纯氦气-郑州瑞安气体-高纯氦气订购

如何生产或提取出高纯氦气？

高纯氦气的生产或提取方法主要有以下几种。

一是分离法，中常含有一定量氦气，先将净化处理，去除杂质，再通过低温冷凝等技术，利用氦气沸点低（约 -269℃）的特性，使其与其他组分分离，随后多次精馏提纯得到高纯氦气。

二是空气分离法，不过空气中氦气含量（约 5.2ppm），需大规模空气分离，经深冷、吸附、膜分离等多步组合工艺，逐步富集氦气并提纯。

此外，对于一些性矿物衰变产生的氦气，可收集后采用精密提纯手段，去除性杂质等，终满足不同领域对高纯氦气纯度的严苛要求。

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在当今科技飞速发展的时代，高纯氦气在众多关键领域发挥着不可或缺的作用。

在半导体制造过程中，高纯氦气被广泛应用于芯片的光刻、蚀刻以及薄膜沉积等工艺环节。

高纯氦气作为一种惰性保护气体，能够有效防止芯片在制造过程中受到杂质的污染，确保芯片的微观结构和电学性能的高度一致性与稳定性。例如，在极紫外光刻（EUV）技术中，超纯氦气的能供应对于实现高精度的芯片图案转移至关重要，其微小的杂质含量波动都可能导致芯片出现缺陷，影响整个集成电路的性能与成品率。

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生产高纯氦气的主要方法有哪些？

生产高纯氦气主要有以下方法。

一是低温冷凝法。利用各种气体沸点的差异，将含有氦气的混合气体深度冷却，使其他气体先液化，从而分离出氦气。这种方法能获得高纯度的氦气，但设备复杂，能耗高。

二是变压吸附法。利用吸附剂在不同压力下对不同气体吸附能力的差异，在压力变化过程中选择性地吸附杂质气体，使氦气得到提纯。这种方法操作相对灵活简单，不过纯度可能稍低于低温冷凝法。

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